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                            產品詳情
                        
        
                        
        
                            
        
                                
                                
                            
        
                            
        
                                
                                
                                
                                
                                
                            
        
                            

                            
        
    
        
    
        
        
        
    
        
            
        

                
        
                    
        
                      
        
                        
                      
        
                    
        
                    
          
                        
        • 全自動晶圓超掃
          • 
                        
        • SONOSCAN超聲掃描顯微鏡AW300是一種先進的儀器，可根據操作員所選擇的接受/拒收標準，對晶圓進行自動處理、檢驗和分類。
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        • 產品文檔：
                          
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         全自動晶圓超掃 
        
  
        
  
        
      發布時間 : 2023-02-16 06:29
  
        
  
        
      
        
          
        
	
		
        
			
				
        
					
        
						AW300TM
        

        
設備分類：生產型
        

        
該系列設備是專門為粘合晶圓及硅片設計的全自動C-SAM系統。
        
它容量大，產能高，靈敏度高，通常用來檢測SOI．MEMS等晶圓。由于這些材料對超聲波幾乎是透明的，SONOSCAN利用自己專門研制的高頻探頭進行分析，以獲取更精細的圖像。AW系列能夠探測直徑小于5微米的空洞和薄如200埃的分層。
        
 
        
特色功能：
        
                   
					
        
					
          
						
        • 
							全自動檢測200/300mm的晶圓 
						
          • 
						
        • 
							SONOSCAN磚利的瀑布式探頭 
						
          • 
						
        • 
							三個25片的晶圓匣盒 
						
          • 
						
        • 
							可選水循環和給排水模塊 
						
          • 
						
        • 
							高**定位的機械臂實現wafer自動上下料，將產能擴大化 
						
          • 
					
        
					
        
						
        
					
        
				
        
			        		
		
        
	        

        

        
	
        
		 
	
        

        

        
	
        
	
        

        
      
        
  
        

        

    
        

        

                            
        
    
        
    
        
        
        

  
        


          
        
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